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        2. H17 等離子機

          2020-10-14 15:50:37

          特點和優勢

           

          § 特別適合 FPC, COF,ACF 以及 IC 載板生產

          § 應用于

          ü 表面清潔、去氧化

          ü 活化改性,提升附著力和可涂覆性

          (絲印、噴碼、化金、壓合/膜、貼鋼片/強)

          ü 除膠,除綠油、顯影殘留

          § 均勻性好,產能高

          § 一體式掛架可水平裝載 FPC 或基板,裝載快捷簡便

          § 設計緊湊實用,生產高效經濟;占地面積小,耗氣量低

          § 實時溫控電極確保工藝穩定和可重復性

          § 操作簡單,維護便捷



          型號

          AnPT-H17

          AnPT-H17D

          生產板尺寸

          板厚

          0.1-12mm

          電極尺寸

          850x530mm

          525x830mm

          層數

          17

          34

          Cycle  Time

          Desmear

          15-20min

          表面清潔活化

          10-15min

          產能

          (830x250mm)

          Desmear

          90-130pnl/hour

          150-220 pnl/hour

          表面清潔活化

          130-180 pnl/hour

          250-350 pnl/hour

          均勻性

          >80%

          上中下三槽;每槽 5-9 個點

          蝕刻速率

          >0.3um/min

          CF4 用量(運行成本)

          3%-8% (Desmear)

          真空能力

          極限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工藝真空度 200-

          300mT

          射頻電源

          10KW/40KHz

          氮氣發生器純度

          99%


          規格

          整機尺寸

          長 x 寬 x 高

          1000 長 x 1200 寬 x 1780 高 mm

          凈重

          2500 kg

          地面承重

          設備總重1.7T,沉重0.6T/m2

          工藝腔

          載板能力

          17 層或 34 層

          射頻電源

          標配功率

          10 kW

          頻率

          40 kHz

          氣體控制

          氣體

          導電棒分布兩側,工藝氣體從前腔門進,腔體背部排氣

          可選流量計

          500, 1000, 2000 or 5000 sccm,標配 2 路

          最多可配流量計數量

          5

          電氣控制

          人機界面

          PLC+Windows 系統電腦,觸屏式

           

          真空泵組

          漢中

          PS902,品牌漢鐘,產地上海,極限壓力10mTorr,最大抽速900立方每小時

          標準泵組能力

          630 cfm

          冷卻水要求

          5 slm

          氮氣要求

          14 slm

           

           

           

          廠務要求

          電源

          380V,三相四線20kw(設頻滿負荷含附屬設備),

          氮氣發生器(選配)

          80-100 psi, 5.3 scfm CDA 6.35mm (1/4 in.)

          冷水機(選配)

          70000 BTU, 380 VAC, 3 Phase 35-50 Amp, 50/60 Hz

          尾氣處理塔(選配)

          220V, 38.1mm 接口

          尾氣接口

          NW40

          工藝氣體接口

          6.35 mm (0.25 in.) Swagelok

          工藝氣體純度

          CF4 = 99.97%; O2 = 99.996%; N2 = 99.99%;

          Ar = 99.999%; H2 = 99.999%

          工藝氣體壓力

          1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大)

          凈化氮氣接口

          6.35 mm (0.25 in.) Swagelok Tube

          凈化氮氣純度

          N2 = 99.9%

          凈化氮氣壓力

          1.03 bar (15 psig 最小) 至 1.7 bar (25 psig 最大)

          安裝環境

          溫度40攝氏度以下,濕度85以下

          廢氣

          配備廢氣處理塔或者接入廠務酸排,靜態抽風壓力不低于5psi,寸半抽風管

          電極

          冷卻

          連個回路交叉通水,進出水方向相反






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