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        2. AnPT RTR系列等離子機

          2020-10-14 15:47:38

          RTR 系列等離子機

          AnPT R250/R500 系列等離子機


           

          型號

          AnPT-R250

          AnPT-R500

          生產板尺寸

          板厚

          25-400um

          寬度

          50-250mm

          50-500mm

          產能(速度)

          孔Desmear

          0.5-4 m/min

          表面處理

          0.5-5m/min

          均勻性

          >80%

          每槽3個點

          蝕刻速率

          >0.3um/min

          CF4用量(運行成本)

          3%-8% (Desmear)

          糾偏精度

          +/-1mm

          張力控制

          20 – 100 N (專利的防腐控制)

          卷料最大直徑

          350mm

          卷軸尺寸

          3/6" (特殊的防腐卷軸)

          真空能力

          極限真空<30mT, 漏率<20mT/min; 工藝真空度200-300mT

          射頻電源

          5KW/40KHz

          氮氣發生器純度

          99%

          升溫速率

          1-2℃/min; (獨特設計,減少升溫時間)


          優異的均勻性、高產能;低生產成本

          滿足Flex/Rigid-Flex; COF; ITO Film 等各種產品和工藝制程應用需求,具有良好的工藝性能

          優異的工藝性能,具備較高的處理均勻性和蝕刻速率

          垂直-雙極饋電型電極,保證產品雙面同步均勻處理

          獨特的氣體分配及優化的抽氣導流設計,確保大尺寸及大批量處理的均勻性、高效

          高效、高產能; 滿足日益增長的新產品和新制程對產能的高要求

          可靈活配置電極及氣體分配方案,適應不同尺寸產品及各種載具生產環境的多種工藝需求

          觸控式操作界面,直觀的圖形界面可實時控制監控生產過程及工藝變量

          整機設計緊湊,一體化設計整合各組件于主機器內, 占地面積小

          極低的生產保養成本、維護簡單便捷

          40KHz自適應射頻電源,具有優異的穩定性和工藝可

          重復性


          AnPT RTR系列等離子機


          應用領域

          孔內除膠環氧樹脂Epoxy、聚酰亞胺PI

          Desmear機械鉆孔后孔內膠渣(鉆污)去除

          Carbon Removal碳化物去除

          激光成孔盲孔孔內去膠(碳化物)

          Flex柔性板激光切割金手指后邊緣碳化物去除

          Descum精細線路間殘留干膜去除(顯影后殘留)

          綠油殘留、有機物、金屬氧化物去除

          納米級表面粗化、應力釋放

          表面活化與清潔

          表面改性

          層壓前處理改善材料間結合力,消除壓合層分層

          PI粗化,補強前處理,增強補強貼合結合力

          防焊前處理,有效防止涂覆防焊油墨脫落

          絲印字符前處理,保證字符清晰、無脫落

          材料表面活化改性,改善難粘材料間可粘性,提升粘接結合力

          改善材料表面親水性(潤濕性), 提升材料可涂覆性和金屬濺鍍性

          RTR 系列適用于FPC/ITO/COF等各種基材和多種應

          用需求




          AnPT RTR 標準技術規格

          設備尺寸

          長x寬x高

          H1870xW1690xD2160(mm)

          凈重

          R250 2450Kg; ;R500 2840KG

          工藝腔體

          腔體尺寸(長x寬x高)

          R250 1120W x 500D x 1100H mm

          R500 1120W x 800D x 1101H mm

          處理槽數

          5 槽(可根據需求增加)

          電極

          電極尺寸

          有效處理面積

          R250 260W x750H mm

          R500 510W x 750H mm

          電極類型

          柵欄式標準溫控電極

          射頻電源

          功率規格

          5KW

          頻率

          40KHz

          氣體控制

          標準規格

          其它可選配

          標準_5slm,2slm,0.5slm

          選配_2slm,2slm

          質流量計最多可配置

          5

          真空泵

          干式真空泵

          GXS160/1750F HV MD RE CA

          冷卻水流量

          3slm

          凈化氮氣流量

          10slm

          控制系統

          人機界面

          PLC+觸屏人機界面

           

           

           

          廠務要求

          供電需求

          380V,50A,三相四線,50Hz

          工藝氣體接口

          1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

          工藝氣體種類及純度

          CF4=99.97%; O2=99.996%; N2=99.99%; Ar=99.999%

          工藝氣體供應壓力

          20psi((0.15MPa)

          凈化氮氣接口

          1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

          凈化氣體純度

          99.90%

          凈化氣體供應壓力

          20psi((0.15MPa)

          壓縮空氣接口類型

          1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

          壓縮空氣要求

          潔凈、干燥

          壓縮空氣供應壓力

          80-100psi

          尾氣接口

          NW40

          電極冷卻水

          蒸餾水

          冷卻水接口

          RC 1/2in.(12.7mm)

           

          選配設備

          氮氣發生器

          35L/min(2立方米/小時)

          冷水機

          25KW制冷量

          380V,三相,6.5KW

          廢氣塔

          220V,單相



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