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        2. AnPT V30 系列等離子機

          2020-10-14 15:39:39

          V30 系列等離子機

          型號

          AnPT-V30S

          AnPT-V30

          AnPT-V30X

          生產板尺寸

          板厚

          0.1-12mm (<1mm, 掛架需要定制)

          標準

          16.5x26' (30 片)

          22x27' (30片)

          25x30”(30片)

          最大

          26x33' (15片)

          27x44' (15片)

          30x50”(15片)

          Cycle Time

          Desmear

          20-30min

          Desmear+活化

          30-45min

          產能

          Desmear

          60-90 pnl/hour

          Desmear+活化

          30-45 pnl/hour

          均勻性

          >80%

          80%

          左中右三槽;每槽5-9個點

          蝕刻速率

          >0.3um/min

          >0.3um/min

          CF4用量(運行成本)

          3%-8% (Desmear)

          真空能力

          極限真空<30mT, 漏率<30mT/min; 工藝真空度200-300mT

          射頻電源

          10KW/40KHz

          10KW/40KHz

          10KW/40KHz

          氮氣發生器純度

          99%

          升溫速率

          2-3℃/min; (獨特設計,減少升溫時間)


          優異的均勻性、高產能;低生產成本

          滿足MSAP/HDI,高厚徑比硬板,Flex/Rigid-Flex等各 種產品和工藝制程應用需求,具有良好的工藝性能

          優異的工藝性能,具備較高的處理均勻性和蝕刻速率

          垂直-雙極饋電型電極,保證產品雙面同步均勻處理

          獨特的氣體分配及優化的抽氣導流設計,確保大尺寸及大批量處理的均勻性、高效

          高效、高產能; 滿足日益增長的新產品和新制程對產能的高要求

          可靈活配置電極及氣體分配方案,適應不同尺寸產品及各種載具生產環境的多種工藝需求

          觸控式操作界面,直觀的圖形界面可實時控制監控生產過程及工藝變量

          整機設計緊湊,一體化設計整合各組件于主機器內, 占地面積小

          極低的生產保養成本、維護簡單便捷

          40KHz自適應射頻電源,具有優異的穩定性和工藝可重復性


          應用領域

          孔內除膠環氧樹脂Epoxy、聚酰亞胺PI

          Desmear機械鉆孔后孔內膠渣(鉆污)去除

          Etch Back回蝕/凹蝕

          Carbon Removal碳化物去除

          激光成孔盲孔孔內去膠(碳化物)

          Flex柔性板激光切割金手指后邊緣碳化物去除

          PTFE活化,確保高頻、通訊、背板等孔金屬化性能

          Descum精細線路間殘留干膜去除(顯影后殘留)

          綠油殘留、有機物、金屬氧化物去除

          納米級表面粗化、應力釋放

          表面活化與清潔

          表面改性

          層壓前處理改善材料間結合力,消除壓合層分層

          PI粗化,補強前處理,增強補強貼合結合力

          防焊前處理,有效防止涂覆防焊油墨脫落

          絲印字符前處理,保證字符清晰、無脫落

          材料表面活化改性,改善難粘材料間可粘性,提升粘接結合力

          改善材料表面親水性(潤濕性), 提升材料可涂覆性和金屬濺鍍性

           

          V30系列適用于PCB/FPC/MSAP/Substrate等各種基材和多種應用需求

          AnPT V30 標準技術規格

          設備尺寸及

          規格

          長x寬x高

          V30:1960x1450x1960(mm)

          V30X:1960x1585x2135(mm)

          凈重

          V30S 1450Kg; V30 1700Kg; V30X 1800Kg

          工藝腔體

          腔體尺寸(長x寬x高)

          V30S 34x34x38(in.)

          V30 34x45x38(in.) V30X 34x52x38(in.)

          處理槽數

          15 槽

          電極

          電極尺寸

          有效處理面積

          V30S 33x26(in.) V30 44x27(in.)

          V30X 50x30(in.)

          電極類型

          柵欄式標準溫控電極

          射頻電源

          功率規格

          5KW /10KW /10KW

          頻率

          40KHz

          氣體控制

          標準規格

          其它可選配

          標準_5slm,2slm,0.5slm 選配_2slm,2slm

          質流量計最多可配置數

          5

          真空泵

          干式真空泵

          650cfm; 1300cfm; 1780cfm

          冷卻水流量

          3slm

          凈化氮氣流量

          10slm

          控制系統

          人機界面

          PLC+工控電腦;觸屏人機界面

          廠務要求

          供電需求

          380V,50A,三相四線,50Hz

          工藝氣體接口

          1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

          工藝氣體種類及純度

          CF4=99.97%; O2=99.996%; N2=99.99%;

          H2=99.999%; Ar=99.999%

          工藝氣體供應壓力

          20psi((0.15MPa)

          凈化氮氣接口

          1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

          凈化氣體純度

          99.9%

          凈化氣體供應壓力

          20psi((0.15MPa)

          壓縮空氣接口類型

          1/4 in.(6.35mm) 卡套接口

          壓縮空氣要求

          潔凈、干燥

          壓縮空氣供應壓力

          80-100psi

          尾氣接口

          NW40

          電極冷卻水

          蒸餾水

          冷卻水接口

          RC 1/2in.(12.7mm)

          選配設備

          氮氣發生器

          35L/min(2立方米/小時)

          冷水機

          25KW制冷量

          380V,三相,6.5KW

          廢氣塔

          220V,單相










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